四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用*的中心切割技術(shù)，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量一致。
四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2、SF6、C2F6、C3F8等痕量雜質(zhì)的檢測，儀器配備高靈敏度的氦離子化（PDHID）檢測器，采用中心切割與反吹技術(shù)，配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器，通過無死體積取樣或在線進樣方式，一次性完成高純氨中雜質(zhì)的檢測，檢測限達ppb級，重復(fù)性RSD≤1％。